Làm sạch & bề mặt chính xácSự đối đãi
Chúng tôi chuyên cung cấp các giải pháp làm sạch và xử lý bề mặt chuyên nghiệp cho các công nghệ xử lý tiên tiến. Bằng cách tích hợp các nguồn lực từ các đối tác chiến lược trong ngành, chúng tôi hợp tác để cung cấp dịch vụ hỗ trợ toàn diện cho khách hàng của mình. Các đối tác của chúng tôi có hơn 20 năm kinh nghiệm thực tế trong lĩnh vực bán dẫn, với các nhóm được trang bị chuyên môn kỹ thuật phụ trách quy trình 14nm. Họ có khả năng cung cấp các dịch vụ làm sạch và xử lý bề mặt một cách đáng tin cậy cho các tấm wafer 8 inch và 12 inch, bao gồm các quy trình như Lắng đọng hơi vật lý (PVD), Lắng đọng hơi hóa học (CVD), Khắc và Cấy ion.
Đóng vai trò là cầu nối dịch vụ, chúng tôi tận dụng các hệ thống quản lý chất lượng hoàn thiện và khả năng dịch vụ đáp ứng của đối tác để giúp các khách hàng sản xuất mạch tích hợp và chất bán dẫn rộng giải quyết các thách thức về quy trình và kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt, cung cấp hỗ trợ dịch vụ hiệu quả và ổn định.
Nghiên cứu trường hợp làm sạch chính xác
Kiểm tra mẫu sau khi rửa chính xác, mức độ hạt và mức dư lượng ion kim loại trên bề mặt phải đáp ứng yêu cầu của quy trình 28nm hiện tại.
-
Trước -
Sau đó
-
Trước -
Sau đó
-
Trước -
Sau đó
-
Trước -
Sau đó
Quy trình làm sạch và phục hồi chính xác
-
Kiểm tra đến
Kiểm tra đến
Kiểm tra ngoại hình, thông số kỹ thuật và hư hỏng.
-
Mặt nạ
Mặt nạ
Bảo vệ các khu vực không được xử lý- khỏi bị ăn mòn.
-
Tước hóa chất
Tước hóa chất
Loại bỏ chính xác lớp phủ cũ.
-
Rửa/ngâm
Rửa/ngâm
Loại bỏ dư lượng hóa chất bằng nước tinh khiết.
-
Mặt nạ
Mặt nạ
Che chắn các khu vực khỏi phun cát.
-
phun cát
phun cát
Điều chỉnh các thông số để đạt được độ nhám mục tiêu.
-
Định cỡ & Kiểm tra
Định cỡ & Kiểm tra
Đo và điều chỉnh kích thước để đáp ứng thông số kỹ thuật.
-
Phun nhiệt
Phun nhiệt
Áp dụng lớp phủ chống mài mòn-thông qua Arc hoặc Plasma.
-
Rửa áp lực cao-
Rửa áp lực cao-
Loại bỏ các hạt bề mặt lớn.
-
Làm sạch bằng siêu âm
Làm sạch bằng siêu âm
Thực hiện làm sạch chính xác để loại bỏ các hạt mịn.
-
Sấy phòng sạch
Sấy phòng sạch
Làm khô hoàn toàn các bộ phận trong tủ sấy phòng sạch cấp 100.
-
Kiểm tra lần cuối
Kiểm tra lần cuối
Tiến hành kiểm tra toàn diện để đảm bảo tuân thủ.
-
Bao bì
Bao bì
Các thành phần đóng gói chân không theo yêu cầu của khách hàng.
-
Kiểm tra vận chuyển
Kiểm tra vận chuyển
Xác minh số lượng và tính toàn vẹn của bao bì.
-
Giao hàng cuối cùng
Giao hàng cuối cùng
Tạo báo cáo và cung cấp.
Khả năng phục vụ
► 5000m2(55000 mét vuông) khu vực xưởng sạch sẽ.
► Khả năng xử lý trên 5.0000 chiếc / tháng.
► 365 ngày phục vụ liên tục và hiệu quả.
► Sản phẩm khác nhau, quy trình khác nhau.
►8 dây chuyền gia công hàng đầu bao gồm các công nghệ:
- Làm sạch/tước hóa chất, Tước vật lý
- ARC-phun phun, phun plasma, sơn phủ, tạo họa tiết, hút bụi và đóng gói, đại tu, v.v.
Năng lực kỹ thuật
► Quy trình: Quy trình nâng cao 14nm
► Phạm vi dịch vụ: 4 inch, 6 inch, 12 inch bộ phận bán dẫn
► Quy trình dịch vụ: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt:-Công nghệ làm sạch có độ chính xác tiêu chuẩn cao